1、按工作方式分
(1)直接式質量流量計
直接式即直接輸出質量流量,直接式質量流量計有多種類型,如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。這種儀表適于測量小流量氣體,缺點是惰性大,測量值與氣體的定壓比熱有關,測量元件與介質接觸,易被沾污和腐蝕。
(2)間接式質量流量計
間接式質量流量計也叫推導式質量流量計,一般是應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。
間接式質量流量計有3種主要型式:速度式流量計與密度計的組合,節流式(或靶式)流量計與容積式流量計的組合,節流式(或靶式)流量計與密度計組合。
還有一種根據流體的工作壓力、溫度將容積流量計的測量值換算成標準狀態下的容積流量。但是,當介質的種類或成分改變時,它不能給出準確的質量流量。
2、按工作原理分
(1)熱式質量流量計
熱式質量流量計的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱,熱能隨流體一起流動,通過測量因流體流動而造成的熱量(溫度)變化來反映出流體的質量流量。
當流體成分確定時,流體的定壓比熱為已知常數。因此由上式可知,若保持加熱功率恒定,則測出溫差便可求出質量流量;若采用恒定溫差法,即保持兩點溫差不變,則通過測量加熱的功率也可以求出質量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現,所以實際應用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。
(2)差壓式質量流量計
差壓式質量流量計是以馬格努斯效應為基礎的流量計,實際應用中利用孔板和定量泵組合實現質量流量測量。常見的有雙孔板和四孔板與定量泵組合兩種結構。
雙孔板結構形式,即在主管道上安裝結構和尺寸完全相同的兩個孔板A和B,在分流管道上裝置兩個流向相反、流量固定為的定量泵,差壓計連接在孔板A入口和孔板B出口處。
(3)科里奧利質量流量計
科里奧利質量流量計(簡稱科氏力流量計)是一種利用流體在振動管中流動而產生與質量流量成正比的科里奧利力的原理來直接測量質量流量的儀表。
科氏力流量計結構有多種形式,一般由振動管與轉換器組成。振動管(測量管道)是敏感器件,有U形、Ω形、環形、直管形及螺旋形等幾種形狀,也有用雙管等方式,但基本原理相同。
(4)微彈式質量流量計
微彈式質量流量計利用微機電系統(MEMS)技術制造的微型傳感器來測量流體的質量流量。這種流量計通常包含一個加熱元件和兩個溫度傳感器,流體通過傳感器時會引起溫度分布的變化,從而允許測量質量流量。微彈式流量計尺寸小,響應快,適合于小流量的精密控制,但可能不適用于高流量或惡劣環境。