1、分辨率

分辨率是掃描電鏡最主要的性能指標，對成像而言，它是指能分辨兩點之間的最小距離；對微區成分分析而言，它是指能分析的最小區域。掃描電鏡的分辨率通過測定圖像中兩個顆粒(或區域)間的最小距離來確定的，測定的方法是在已知放大倍數的條件下，把在圖像上測到的最小間距除以放大倍數所得數值就是分辨率。

2、放大倍數

當入射電子束做光柵掃描時，若電子束在樣品表面掃描的幅度為As，在顯光屏上陰極射線同步掃描的幅度為Ac，則放大倍數可表示為M=Ac/As。

由于熒光屏的尺寸是不變的，因此，放大倍數的變化只要通過改變電子束在樣品表面的掃描幅度As來實現。

目前商品化的掃面電鏡的放大倍數可以從20倍到20萬倍之間連續調節。

3、景深

景深是指透鏡對高低不平的樣品各部位能同時聚焦成像的能力范圍，這個范圍用一段距離表示。

如果景深為Ds，只要樣品表面高低范圍值小于Ds，則在熒光屏上就能清晰地反映出樣品的表面形貌。正是由于掃描電鏡景深大，特別適用于粗糙表面和斷口的分析觀察；圖像富有立體感、真實感、易于識別和解釋。