1、加壓電壓（工作電壓）
在多數電子束焊中，加速電壓參數往往不變，根據電子槍的類型通常選取某一數值，在相同功率下，隨著加速電壓的升高，電子束功率隨之增大而提高了功率密度，電子光學系統聚焦性能改善，進一步提高了電子束焦點的功率密度，使焊縫深度及寬度增加，其熔深增加遠比熔寬增加快，悍接5mm不銹鋼時，加速電壓從22KV增加了32KV時，熔深增加4倍，熔寬增加1倍多。
2、焊接電流
增加電子束電流時，功率雖然增加，但是由于空間電荷效應和熱擾動加劇，使電子光學系統的聚焦性能變壞，其焦點的功率密度增加較低，所以熔深的增加較小。
3、焊接速度
焊接速度增加時，線能量減少，焊縫熔深、熔寬均減少，當降低焊接速度時，其焦點的功率密度沒有變化，所以對熔深的影響不大。
4、電子槍工作距離（簡稱工作距離）
當工件距離變化后，為了獲得最佳聚焦條件，必須調節磁透鏡的聚焦電流，當工作距離增大時，聚焦電流減少，功率密度值也在減少，工件距離減少時，束焊的壓縮比增大，使斑點直徑變小，增加了電子束功率密度，則熔深相應增大，但工作距離大小會使過多的金屬蒸汽進入槍體造成放電，因而在不影響電子槍穩定工作的前提下，可以采用盡可能短的工作距離。
5、焦點位置
在電子束焦點的上下附近，存在著功率密度近乎相等的一段區域，即活性區域，焊接時，一般工件都處在活性區域內，活性區域的長度于電子束的會聚角有關，當電子束焦點位于工件上方時為，上焦距，而焦點處活性區域不同范圍內進行焊接時，其橫截面的形狀及熔深有所不同，下聚焦時熔深大，表面聚焦時次之，上聚焦時最低。
6、直徑
其它參數固定時，焦點直徑取決于陰極與聚焦透鏡套筒之間的距離，焦點直徑減少，熔寬減少，熔深變化不大。
